“毕竟锂电领域,也算是咱们国家一个优势领域。能够早点打开应用市场,就能够更能把优势稳定起来——你这次来沪市是不是要视察车厂?”
“嗯,车厂慢慢说,主要还是你们这边。”苏远山视线望向隐在树林后的那栋白色建筑几秒后望向梁孟松,目光灼灼:“老梁,还有一个月,就要半导体峰会了。”
梁孟松矜持地一笑:“放心吧,万事俱备。”
苏远山放下心来,视线再次望向远方。
既然万事俱备,那就证明只欠东风了。
他并没有骗梁孟松,他这次来,确实主要任务便是视察浸润式光刻项目。
——三天前,林本坚给他发来邮件,表示可以收工了。
……
三分钟后,电动观光车抵达光学实验室门口,早已收到消息的林本坚和赵凯东二人已经等候多时。
“林博士,赵叔。”苏远山跳下车便朝着两人快步走去,同时与二人紧紧握手。
“辛苦你们了。”
“不辛苦。”林本坚呵呵地看着苏远山,依旧一副淡定的模样,倒是赵凯东,目光里多了太多的数不清的感情和激动。
——他和林本坚不同,林本坚此前一直服务于ib,是“见”过“大场面”,也是领到过世界一流科研单位的。但他……虽然在国内堪称翘楚,但真正搞技术,搞科研的人,哪怕在外面“装”得再好,内心深处,对自己到底是什么地位,有“几斤几两”,那是再清楚不过了。
如果不清楚,那可以毫不客气地说,这人就是个混子。
赵凯东是从被全面封锁时代走出来的工程师,他清楚地知道,国内在这种民用的光刻机光源领域差距国外有多远——在十年前,别说超越,就连追赶,那都是一个不敢去想的事儿。
但这才十年啊……国内在arf光源领域便实现了突破和追赶。
——是,他承认,全面追赶还差一点,比不上国外同行深根多年的底蕴。以至于宏芯那边的主要采购方向还是国外企业。
但随着浸润式光刻技术的突破,这却是在光刻机这一大的领域上,国内第一次全面超越了西方。
第855章 锦衣夜行
换上全套防尘装备,穿过风淋室,一群全身上下裹得严严实实的工程师早已站成两排等在面前。
苏远山看着胸卡,认出了戴着口罩的庞克明——他在成光所时代便是郑振川的“徒弟”,如今郑振川虽然还活跃在技术一线,但毕竟是当老总的人,精力难以为继。所以便把攻克难关的任务交给了庞克明。
而且按照宏芯的计划,在完成浸润式光刻的攻克后,庞克明将就地在沪市建立分厂。
毕竟,作为工业和出口重镇,沪市比起省城的优势确实大不少,更重要的是,沪市这边有德远总部。今后如果不出意外,省城这边的总部将更多会保留科研单位,进行技术攻关,而装配工作会逐渐转移到沪市这边。
“庞工。”
“山总,我懒得再防尘服,就没出来,你没见怪吧?”
“呵呵,没有没有,大家辛苦了。”苏远山一边和众人打着招呼,一边望向前方不远处的“大机柜”。
很好,看来确实是万事俱备,只欠自己这场东风了。
“在诸位领导的……”庞克明带着苏远山走向光刻机,他看了眼跟在苏远山身后的几位大佬,笑着替苏远山介绍道。
“庞工,捡重点说。”苏远山目不转睛地盯着光刻机,听到庞克明要搞这种形式主义,马上摆手:“多久能进厂?”
庞克明便看到,一干人的脸上都露出了笑意,他也轻轻咳了一声,笃定地道:“现在就可以进厂。”
“哦?意思是,现在就能量产了?”苏远山转身看着庞克明,很有几分迟疑——他一直关注着这边团队的进度,是以对光刻机参数了如指掌,压根不需要庞克明介绍。
他最看重的,还是何时能够量产。
原型机和量产机,那真的是有区别的。
“在设计之初,我们就考虑到了量产的问题。”庞克明笑着答道:“当然,现在就说能接订单量产那肯定有些吹牛皮,不过让这台原型机进厂跑起来,然后提供维护的方案,我们肯定是有的。”
苏远山又转头看着林本坚等人,只见这老几位虽然带着口罩,但也都眼角含笑,心中便知道庞克明所言非虚,当下便哈哈一笑,喜上眉梢。
“不错,不错!走,我看一眼测试。”
“好的,而且为了测试,我们还发明了一种专门用于光刻机测试的掩膜版和工序,它包括了套刻测试图形和参数计算公式。”
庞克明示意下属开始演示。
“山总,传统的测试分辨率和焦距的方法是制作光刻线宽测试版,即在光刻版的各个区域上都均匀放置一组线宽测试图形,在圆片上曝光后用扫描电镜测试该图形的线宽数据,然后再来评价光刻机镜头各区域的分辨率和最佳焦距。我们这个算是一步到位,简单方便,啪的一闪,就能直接得出光刻机的参数了。”
“嗯,不错!”苏远山再次点头。
……
……
两小时后,苏远山几乎是一路飘着走出了无尘室。
作为宏芯的代表,庞克明这次就不能再捡懒了,他也和林本坚,赵凯东,梁孟松等一起进入了会议室。
“客套话我就不说了,意义我也不重复了,论功行赏什么的……”苏远山见众人都笑了起来,他也呵呵一笑:“咱们要低调点,不能抢了上面的风头。”
“意思是,我们还要等上面验收?”庞克明看着苏远山,试探性地问道。
苏远山微微一笑,点了点头:“虽然咱们早就过了验收报喜的阶段,而且我们也没有拿国家的钱,不需要上头来检查什么的,更不需要对上面负责……但该给的面子还是要给嘛。”
在座几人纷纷点头。
纵然大家都是一心搞技术的工程师,但活了这么大岁数,这种又不违背原则,又能让国家开心的事,怎么都是支持的。
“不过这事儿你们别着急,庞工你也要给郑叔说一声,咱们这个消息要先保密起来——因为下个月半导体峰会就要召开了,现在初步想法是,等到半导体峰会结束之后再正式发布。”
“然后这段时间,你们看能不能抓紧时间进厂,把良率……”苏远山说着自己就愣了一下,随即不好意思地笑了起来:“哎呀,时间太紧了,估计来不及。”
梁孟松和庞克明相视一笑——进厂的话,那这活儿就应该是他俩来干了。
从现在到五月十五号半导体峰会,满打满算都只有一个月挂零的时间,要在这么短的时间内完成拆装——嗯,加班加点的话,也不是不行。但如果要正式投入使用,完善工艺和制程,那没有三五个月还真的是休想。
毕竟,这台浸润式duv光刻机,它理论上可以提供太多太多的可能的了。
“这样,大家还是先锦衣夜行一段时间,这段时间,大家好好休个假,放松放松。等到半导体峰会之后,我们再说。”
“那让上头验收的事?”
“这事我先去找领导商量商量——别的人可以瞒,在沪市这地盘,领导可是不能瞒的。”
苏远山脑中浮现出领导圆乎乎的笑脸,不由自主地浮出了笑意。
来沪市,他怎么都要去领导那儿逛一圈的,而这事儿,领导显然也是必须知道的。
……
由于依旧处于保密阶段,大家也就没有怎么大张旗鼓地庆祝,晚上只是由苏远山做东,请了林本坚等几个劳苦功高的负责人在酒店吃了顿平平无奇的晚餐。
第二天,他便去了领导办公室,在办公室里,领导本来只给他三十分钟时间叙旧的,结果时间一直推迟到了两个小时……
到最后,苏远山好说歹说,才把领导给劝住,让他装一下……
当时领导给苏远山的话是“那我偷偷摸摸地去看一看总行了吧?”
把苏远山给乐得……
不过最终,领导还是听了苏远山的劝。假装自己没有听到这个消息,然后也给苏远山出了个主意,让苏远山不要声张——既然要让上头开心一下,那就在半导体峰会期间或者临近半导体峰会的时候再上报,不然的话人多嘴杂,到时候提前泄露就没意思了。
领导是知道苏远山的算盘的——苏远山想用半导体峰会来甄别一下真正的盟友。
毕竟,这是一场对西方科技权威的挑战,如果一开始就没有勇气,那今后又怎么可能出死力?
“我以为你这次还要三过家门而不入呢。”
李明柳和高晓第二人把苏远山迎进了办公室,落座后,李明柳乐呵呵地冲苏远山道。
苏远山抽着鼻子嗅了嗅,又四下看了一眼,发现没有烟味不说,连烟灰缸都没见着一个,忍不住好奇道:“老李,你戒烟了?”
“没有,只是规定了,吸烟要去吸烟室抽……咱们定的规矩,自然要自己开始遵守起走嘛。”李明柳笑着掏出烟盒弹了弹:“不过因为懒得走,所以现在抽得确实少了很多,以前一天两包,现在两天一包。”
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