1991从芯开始 (三分糊涂)

　　“磁悬浮？”曲慧闻言一怔，直愣愣地望着苏远山。
　　郑振川也惊讶起来：“小山，磁悬浮能用在工件台上？”
　　“不是磁悬浮能用在工件台上，而是工件台要摆脱摩擦和阻尼的桎梏，实现超精密运动控制，在现有的自然科学和机械空城的框架下，就只有磁悬浮这一条路。”
　　曲慧沉默数秒后慢慢点头，喃喃道：“是了，磁悬浮技术可以最大作用地发挥我们的运动控制模块的优势，避开短板。”
　　“可是，那个难度怕是有点大吧？现在有没有超精密的磁悬浮运动控制案例和方案？”郑振川则想了想，迟疑地问道。
　　“不知道，但管他呢！”曲慧吸了口气，整个人瞬间振奋了起来，望向苏远山道：“小山，你真觉得那是个方向？”
　　“我能想到的唯一方向。”苏远山郑重点头。
　　有了新方向的曲慧再无心交谈，转而去苏远山的书架翻了一本物理书来看。
　　见曲慧这模样，苏远山也在心里暗暗发笑——曲慧别看已经三十岁了，可长期以来身处科研一线，身份身家都无与伦比，以至于心态还是小姑娘心态。
　　“郑叔，怎么说？”苏远山起身给郑振川斟满茶水，笑呵呵地问道：“你别告诉，你是来推销光刻机的。”
　　“嗯，还真是。”郑振川从刚才苏远山口中的磁悬浮工件台的设想中回过神来，笑着道：“我们拿到了蔡司的镜头和Cyr的KrF光源，接下来就能量产最低018微米工艺节点的光刻机了。”
　　“我靠！”
　　苏远山眼珠子一瞪，差点没从沙发上弹起来：“怎么拿到的？”
　　“呵呵，别激动。”郑振川好整以暇地抿了一口茶：“怎么样，要不要来两台？”
　　“等等！”苏远山马上便清醒过来：“别拿空头支票来忽悠我，先说清楚，什么时候可以可以出厂。”
　　“最多半年。”
　　听到这个半年，苏远山又默默地算了一下自家光源的时间，这才慢慢平静下来，笑着骂了一句：“NND，帝国主义亡我之心不死。”
　　“是啊……但这样好歹能把咱们的光刻机与尼康佳能的距离缩到只有一代了，对吧？”
　　“嗯，这倒是。”
　　苏远山含笑望着郑振川，突然越看越觉得这老头有点像“买办”了。
　　很显然，在这个时候，蔡司和Cyr突然对国产光刻机放行，除了有霓国同行的竞争之外，还有就是有把国内的光源和镜头技术“扼杀”在摇篮的想法。
　　要知道，他们给的光源和镜头，可不是最先进的……
　　Cyr都已经搞出193的ArF了，正在想搞EUV或者F2呢。
　　“不过郑叔，我们已经预定了尼康最先进的DUV光刻机，他们的节点可是能够到65纳米。”苏远山一耸肩，呵呵笑道：“差不多半年。”
　　“……”郑振川便带着一脸哀怨地看着苏远山：“当初你说好要支持的呢？”
　　“我当然一直都是支持的，但这事儿我做不了主啊郑叔。你不应该找我，而是应该去找德远的张博士。”
　　说着苏远山便疑惑起来：“不对，郑叔……无锡那么多晶圆厂，为什么你不去找他们？”
　　远芯在光刻机，晶圆厂的战略方向一直很明确，就是以保持制程和工艺的领先——换言之就是设备上不能落后。
　　光刻机自然要支持，甚至还要大力支持。但钱可以出，在有选择的情况下，买一堆落后的产品，这事儿却是不能干的。
　　国家也认同远芯的发展，因此从来把希望寄托在远芯身上，继而让华晶，华鑫，首晶等新老国有控股的晶圆厂大力采购国产光刻机，用以扶持。
　　所以郑振川找苏远山，是没找对门。
　　“因为每个企业都有追求。”这时曲慧抬起头，悠悠地来了一句。
　　苏远山便望向郑振川，只见后者的表情已经变得苦涩了起来。
　　郑振川沉默几秒后，发出了一声轻叹：“国外同行在今年开了不少口子，国内的晶圆厂，只要有钱，基本上都能买到KrF的光刻机……”
　　“现在国家上上下下都在讲市场化，就算上面再支持我们，也不可能说强制下行政命令让企业只买我们的光刻机吧？”
　　“而且……我们的光刻机……确实，我承认，稳定性比起国外同行差了一点。但我们起步晚，这是很正常的，总要给我们一点时间进步和完善，对吧？”
　　“现在倒好，随着国外解禁，国内企业又开始有钱了……再加上国家一直在推动无锡那边的产业升级，成立了以华晶为首的半导体联盟。旨在提高整个国内半导体行业的元器件自产率和制程升级……所以，我们在目前落后两代的情况下，确实有点难搞。”
　　“现在无锡那边，已经有人在诋毁说咱们的光刻机这不行，那不行……还不如多花点钱买ASML和尼康佳能。”
　　“在那些人眼里，晶圆厂就是印钞厂，光刻机就是印钞机，就算再贵，只要够先进，能稳定运行，那印到后面就是印的钞票。”
　　静静地听郑振川说完，苏远山意识到，历史的走向已经完全改变了。
　　但有一样还是没变。
　　造不如买的思想没变。
　　——事实上，造不如买不仅仅是一种思想，而是一个持续在整个工业化进程中的现象。
　　原因很简单，机械设备领域，确实不如别人。
　　工欲善其事，必先利其器。
　　哪怕它再贵，稳定性和效率依旧压倒一切。


第631章 全村的希望
　　苏远山突然觉得嘴皮有点干，沉默许久后，他抿着嘴唇，轻声道。
　　“我得承认，我这段时间确实对光刻机领域关注得少了一点。”
　　曲慧此时已经放下书，望着他，正色道：“你不止是少一点，光刻机是不能放弃的。”
　　“是。”苏远山点头，再次沉默几秒后望向郑振川：“郑叔，就算德远采购明年的Krf光刻机，能够让你们拥有竞争力吗？”
　　“或者说，你们宏芯真的到了必须得靠德远采购才能活下去的时候了？”
　　“不……当然不是。”郑振川马上摇头：“如果德远能够采购我们的光刻机，国内一帮人肯定会闭嘴的，更何况……我们还有双工件台呢。”
　　苏远山微微点头。
　　这个理由他认可。
　　从规模上，德远当然比不过Intel，德仪，NEC这种老牌半导体企业，甚至连岛上的联电都比不过。
　　但从制程工艺和技术实力来看，德远的崛起确实带着浓浓的远芯印记，短短四年时间不到，就追上了制程领域的第一梯队，堪称半导体行业的奇迹。
　　而从德远上个季度公布的财报来看，德远也跻身进了十大晶圆厂。甚至因为并没有涉足目前正受冲击的DRAM领域，还一举超过了NEC和德仪，一举进入了前六。
　　如果能拿到德远的“认可”，显然对宏芯的光刻机是有正面宣传意义的。
　　沉默着，苏远山突然望向曲慧。
　　“曲慧姐，你们那边的定位精度在一年内能提到多少？有计划表没有？”
　　——工件台的精度与光刻机的制程工艺是两码事，一般来说，05微米制程，搭配纠偏系统的话，需要的套刻精度是01微米以下。
　　套刻，指的是，在依次曝光完硅晶片的所有field后，更换掩膜进行重复曝光，这两次曝光的过程中的掩膜，需要精确地套叠在一起，因此被称为套刻。
　　而众所周知，工件台是光刻机工作时所有工序的平台，因此套刻精度又受工件台定位精度的直接影响。
　　在引入误差后，双工件台的精度起码还得提升个10倍，达到005微米的精度以上，才能真正用在025微米的制程工艺上——这才是远芯需要的光刻机。
　　而后世的工件台，定位精度甚至能够达到2纳米以下！加上多重曝光，理论上甚至能实现2纳米的制程。
　　现在曲慧说定位精度在05微米，那意思就是首都精科那边只能算是造出了双工件台，要真正运用在光刻机上，还需要进行不断的调试。
　　苏远山对机械不甚了解，他只知道，如果零部件误差在允许范围内的话，那么精度的提升就只能依靠纠偏系统了。
　　纠偏系统，顾名思义，就是纠正偏移的系统。它的工作原理说简单也简单，就是搭配光栅传感器，把精度控制、调整在可以接受的范围内。但说复杂也复杂，因为它对运动控制模块的要求相当高。
　　曲慧合上书，回答道：“计划当然是有计划，我们接下来会一直继续优化纠偏系统和运动控制模块，但现在没办法告诉你准确的进度。”
　　苏远山慢慢点头，突然问道：“首都高科对双工件台的出口计划是什么？”
　　郑振川和曲慧一对视，两人同时沉默。
　　片刻后，郑振川轻声道：“小山，我们被国外掐脖子掐得够厉害了，我认为我们的双工件台不需要出口。”
　　曲慧同样点头：“我也认为。”
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　　苏远山长长地叹了一口气。
　　直到现在，他才终于弄明白了这二人的真正来意。
　　曲慧的想法，大概是她更多从要之前被掐脖子掐得狠了，现在终于轮到自己领先，要“爽一把”的角度来考虑。