1991从芯开始 (三分糊涂)

　　可以想象，在接下来的数年内，ASML将会迅速从技术上同时对尼康佳能进行追赶，并如历史轨迹一般完成EUV的技术构想。
　　但历史轨迹又不一样的是，ASML完成对尼康佳能超越的关键团队，目前在苏远山手上。
　　“只要国产光刻机仍然在追赶，禁售就不会发生。”苏远山抿着嘴，沉默地望向远处的一栋大楼——那里便是林本坚和赵凯东的联合团队所在的实验室。
　　“而且我们一直都与多方的光刻机企业有技术支持和合作，这种交错的关系之下，除非德远受到了明确的针对，否则不会发生。”
　　梁梦松不擅长这些“大棋”，他只需要知道，苏远山说不会，那他就不用担心了。
　　而且德远目前也确实是尼康的友好客户，在去年WA协定签署后，国内半导体产业都风声鹤唳了许久，尼康为此还特意安排了工期……后面证明，霓国方面除了加强了检查之外，并没有干涉德远的订单。
　　“总之走着看，我们技术越有优势，就越有讨价还价的本钱。”说着苏远山站起身，朝着前方的实验室走去。
　　……
　　“林叔，赵叔。”
　　苏远山见两人同时站在门口，连忙上前握手，梁梦松也上前打了招呼。
　　见到跟在苏远山身后的梁梦松，林本坚倒没什么，赵凯东则是微怔了一下——此时张汝金不在，按照规矩，负责接待陪同苏远山的显然应该是德远的二把手来……
　　按照职位算，梁梦松只能排到德远的第五。
　　这架势，看来苏远山是真铁了心的要全力推制程突破了。
　　在接待室落座后，苏远山简单问了一下目前的进度——在光源领域，因为林本坚的加入，赵凯东团队进展得很快，他们即将完成193n的准分子激光光源技术。
　　虽然比起国外同行落后了差不多一年多，但好歹算是追上了。而且就现有的技术和理论来看，193n将会成为很长一段时间内都无法突破的光源。否则灯塔国那边也不会成立EUV联盟，找寻新的出路了。
　　当然，对于如何跨越193n，除了EUV之外，也有其他的方案。譬如尼康和SVG就在准备攻克157n的HeF2激光，以及电子束投射（EPL），离子投射（IPL）、甚至X光等等……
　　总之，就是解决的办法一箩筐，放眼望去全是路。
　　但具体哪一条是真正的正道，谁也不知道。
　　嗯，只有苏远山一个人知道。
　　因为这些方案，都败给了眼前这个乐呵呵的老爷子。
　　“林叔，赵叔，193n之后你们的想法是什么？”坐到沙发上，苏远山端起茶杯抿了一口。
　　赵凯东和林本坚对视了一眼，随后笑着道：“193n看样子都要停留很久，你这么着急？”
　　“我本来是不着急的。”苏远山很坦白：“主要是老美那边搞EUV，搞得我有点心慌。”
　　赵凯东便笑着摇了摇头：“虽然说光源要比光刻机领先很多，但193n的光源现在都尚未用在光刻机上，你心慌也没用。”
　　“至于说下一代光源，其实我和老林并不十分看好157n，因为HeF2激光可以说要完全推翻现有的光路系统，非但物镜要重新搞，光刻胶也要重新研制……最主要的是，波长步进提升不大，且投入产出比太高了。”
　　“EUV，听起来很不错，有点下一代光源的意思。但你看EUV联盟那架势……就不是我们这个小作坊能够完成的。”
　　苏远山便笑道：“有您二位在，咱们这实验室可不是小作坊。”
　　“呵呵，不管是不是，但设计师不是有句话吗？摸着石头过河……既然前面有人趟路了，那我们也干脆摸着石头过河就行了。”赵凯东笑道：“Intel不是拉了那么多企业吗？你也可以拉一个嘛。”
　　苏远山：“……”
　　他算是听明白了，赵凯东的意思是，让他也搞个EUV联盟。
　　苏远山倒是想搞，可现在要是搞的话，那就不是远芯主导，而是所有人给霓国人打工。
　　于是他便望向林本坚。
　　“林叔？你有什么妙招没有？”


第620章 新的全球业务负责人
　　面对苏远山带着期许的眼神，林本坚有点不好意思起来。
　　回国之后，他便和之前一直远程联络的赵凯东团队一头扎进了193nArF光源的研发中。现在正是小有成就，看到曙光的时候
　　坦白说，他还真没空去考虑193n之后的事。而且长期呆在硅谷，他对灯塔国的技术实力和技术远见是再了解不过了。
　　既然灯塔国那边都已经瞄准了EUV，显然，这意味着必定是个方向，起码也是之一。
　　不过既然苏远山问的是“妙招”，而不是下一代光源的方向
　　那林本坚倒还真有点想法。
　　“妙招谈不上，只是在很早之前有点不成熟的想法。”林本坚有些腼腆地笑道。
　　苏远山眼睛亮了起来：“林叔您说。”
　　“我在几年前发过一篇论，当时就想过，如果无法从光源上缩短波长，那么可以考虑其他物理手段来实现。譬如在镜头与曝光区域中间加上一层水，这样就能把波长降下来了。”
　　说着林本坚便简单介绍了一下自己的思路。
　　听完林本坚的介绍，这边苏远山还没说什么，赵凯东和梁梦松便齐齐一楞他俩人都是和光刻机老打交道的工程师，立刻便意识到这想法有点过于异想天开了。
　　赵凯东道：“老林，你这个怕是不好搞吧？”
　　梁梦松也点头：“有点过于咳。”
　　林本坚只是笑了笑，他现在也没空去整理方案，只是随便一说，自然不指望说服这两人，而且这也不是什么迫在眉睫的事情
　　于是，他们三人都没有见到，苏远山眼中升起的笑意。
　　“嗯，总算有个想法，什么时候我找看您那篇paper看看。”苏远山笑着点头：“现在我们主要还是得解决193n的问题。”
　　“现目前，实现了ArF激光光源的主要有两家，一个是Cyr，一个是小松。我们和斯塔尔，IBM之流只能说在后面追赶但我相信，追到最后，还能咬着光刻机光源的应该就只有我们一家。”
　　注：小松株式会社，00年与USHIO联合成立Gigaphoton，加上Cyr，自此进入Arf光源双雄时代。当然，Cyr获得ASML的支持在EUV光源上拉开距离，又是另外一个故事了。
　　苏远山的话，自然得到了所有人的认同。
　　历史早就证明了，只要你敢没有这个技术，国外就敢搞封锁，要不卖高价。
　　其实这种事儿远芯也干过。去年远芯在北美发布的MP3和Vidoo5，为什么卖那么贵？真以为成本高昂？
　　当然还是因为当时只有远芯一家推出了MP3功能。
　　今年的北美发布会上，在同行们纷纷推出同样功能手机和MP3后，Vidoo6的首发价早就降了下来，而且到现在已经进行了两轮的价格调整。虽然依旧还是市面上最贵的手机，但起码价格不会高得逆天。
　　“小山，不过我现在有点担心。”赵凯东接过苏远山的话道：“老赵那边催得倒是凶，说什么要自主自产，但他现在和小松，Cyr接洽得很频繁。到时候别我们把光源系统搞出来他不用就有点烦了。”
　　苏远山还真的怔了一下，他仔细想了想，顿时乐了好像，似乎，大概郑振川真能干得出来这种事！
　　要知道，郑振川是铁了心的要把光刻机搞上去。
　　而且郑振川也比任何人都知道，光刻机走到最后，一定会是“万国造”。
　　就目前而言，没有任何一个企业，一个国家，能够完成越来越精密的高端光刻机零部件全部自产。
　　所以在郑振川看来，国内光刻机要真正崛起，绝对不能只盯着国内市场那样只能造出一堆运用在低端产业链上的光刻机。
　　所以郑振川积极与世界先进的零部件供应商接触，那自然无可厚非。
　　其实别说郑振川，就是苏远山也是这么干的！
　　只要国产光刻机一刻不能追平尼康佳能，那德远的光刻机首选便必定是尼康佳能。
　　换言之就是，只要远芯这边的光路系统一刻不能追上Cyr、小松，那郑振川的光路系统首选便必定是Cyr，小松。
　　“天道好轮回啊。”苏远山大笑起来：“我们借郑叔他们逼国外卖我们光刻机，郑叔他们借我们逼国外给他们提供光源系统”
　　赵凯东一边摸着稀释的头发，一边摇头，丝毫不觉得脸红地笑道：“嘴里说着支持，实际上都是利用，就跟我们催长光所一样。”
　　要知道，光源系统可不是单独的一个激光器，还包含了整个光路解决方案的透镜组和整套控制方案。
　　现目前，实验室这边的物镜系统主要还是采用的蔡司透镜比较有利的一点是，蔡司目前与尼康佳能等透镜大佬竞争得很激烈，远芯这边还不愁采购。
　　但是，基于未雨绸缪，自主自产的方针。这边实验室也和郑振川一样，不停地给长光所的透镜实验室加油鼓劲喊他们早日在技术上追欧超霓。
　　那么意思也同样是只要国产透镜一日追不上尼康佳能蔡司，那么远芯这边便必定要选择那三家，而且还得选最优秀的。
　　唯有这样，光刻机才能在最终的产品市场领域里拥有一战之力。